「微纳加工中心」——微型零件超高精密加工解决方案

KASITE-SKD系列微纳加工中心
——微型零件超高精密加工解决方案

为解决微型零件加工需求,速科德创新研发了超高精密设备KASITE-SKD系列微纳加工中心,加工余量范围20nm-100μm。

一、设备核心技术
高速主轴:德国进口品牌Kasite/SycoTec,最高转速60,000rpm,精度≤1μm
视觉系统:上下两个高倍率远心镜头相机,2,000 W高清像素,空间分辨率≤1μm
直线电机:进口品牌直线电机,高精度、高响应
光栅反馈:10nm、20 nm、50 nm、100 nm


 
二、相机功能优势
上相机:
① 标定刀具中心和相机中心误差。
② 在线检测工件尺寸确定余量后进行微纳加工。
下相机:
① 对刀功能( 静态刀具XYZ值的对刀)。
② 刀具动态的刀摆补偿。


 
三、软件优势
1.自带CNC功能的运动控制卡编程运算各指令。
2.自定义运动轨迹控制,编辑不同形状,自动完成零件加工需求。


 
四、设备规格


 
五、应用领域
设备广泛应用于航空航天、光学、生物医学、半导体、通用机械加工、模具制造等领域钻、铣、磨高精密加工。

六、加工应用案例
高精度微深孔加工:孔深系数(D/L)约等于100


 
微小椭圆高精度加工:按椭圆轨迹磨削加工扩展到短轴0.75mm,长轴0.9mm,圆度公差≤2μm


 
高精密微针加工:微针形状为圆锥形、圆柱形、三棱锥、四棱锥等,高度600-800μm,底边长200μm,针体间距500-800μm